[发明专利]四氯化硅的处理工艺在审
申请号: | 201410044261.3 | 申请日: | 2014-01-30 |
公开(公告)号: | CN104817091A | 公开(公告)日: | 2015-08-05 |
发明(设计)人: | 齐林喜;刘犀灵;王晓亮 | 申请(专利权)人: | 内蒙古盾安光伏科技有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 015543 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 一种四氯化硅的处理工艺,包括如下步骤:预热,氢气在氢气预热器内预热后,进入四氯化硅气化器;混合,四氯化硅和氢气进入四氯化硅气化器混合后,通过外供蒸汽加热气化后,进入进出气换热器;换热,进入出入器换热器的四氯化硅、氢气混合气体与来自氢化反应器的反应生成气换热;加热,四氯化硅、氢气混合气体换热后再进入电加热器加热;冷氢化,加热后的四氯化硅、氢气混合气体进入氢化反应器与其中的硅粉发生反应,反应生成气最终导出到进出气换热器中与入料的四氯化硅、氢气混合气体换热。本发明的四氯化硅的处理工艺可以降低了电耗。 | ||
搜索关键词: | 氯化 处理 工艺 | ||
【主权项】:
一种四氯化硅的处理工艺,包括如下步骤:预热,氢气在氢气预热器内预热后,进入四氯化硅气化器;混合,四氯化硅和氢气进入四氯化硅气化器混合后,通过外供蒸汽加热气化后,进入进出气换热器;换热,进入出入器换热器的四氯化硅、氢气混合气体与来自氢化反应器的反应生成气换热;加热,四氯化硅、氢气混合气体换热后再进入电加热器加热;冷氢化,加热后的四氯化硅、氢气混合气体进入氢化反应器与其中的硅粉发生反应,反应生成气最终导出到进出气换热器中与入料的四氯化硅、氢气混合气体换热。
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