[发明专利]样本制备镜台有效
| 申请号： | 201410044980.5 | 申请日： | 2014-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN103983485B | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | J.A.H.W.G.佩索恩;A.T.恩格伦;M.P.W.范登博加尔德;R.J.P.G.沙姆佩斯;M.F.哈勒斯 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 董均华,谭祐祥 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 所描述的是用于原位中样本制备和成像的一种系统和方法。该系统包括具有主体镜台110和栅镜台150的多轴镜台100，所述多轴镜台100具有各种自由度以允许样本制备。在一些实施例中，聚焦离子束系统用于在主体镜台110上制备薄片。该薄片然后可从主体镜台110转移到栅镜台150，而不需要从聚焦离子束系统移动多轴镜台100。 | ||
| 搜索关键词： | 样本 制备 镜台 | ||
【主权项】：
一种多轴样本制备镜台，包括：主体样本保持器，其配置成围绕与所述主体样本保持器的方向平行的第一主体轴而旋转样本位置，并且还围绕与所述主体样本保持器的方向垂直的主体翻转轴而旋转所述样本位置；以及栅样本保持器，其用于保持与所述主体样本保持器相邻的样本栅，并且配置成围绕与所述栅样本保持器的方向平行的第一栅轴，以及与所述栅样本保持器的方向垂直的栅翻转轴，而旋转所述样本栅，其中，所述第一主体轴延伸穿过所述主体样本保持器。
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