[发明专利]利用白噪声PSD校准光学表面轮廓仪有效空间分辨率的方法有效
| 申请号： | 201410050122.1 | 申请日： | 2014-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN103983204A | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 王占山;马爽;蒋励;沈正祥 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200092*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种利用白噪声功率谱密度(PSD)校准光学表面轮廓仪有效空间分辨率的方法。白噪声会限制光学表面轮廓仪的空间分辨率，它是一种功率频谱密度为常数的随机信号或随机过程，利用这一规律，将测试结果中符合白噪声功率谱密度(PSD)曲线化规律的部分截断，剩余部分对应有效的空间频率范围。本发明原理简单、操作便捷，不需要借助其他设备，在检测光滑样品的同时就可以完成校准工作，显著降低了光学表面轮廓仪校准的难度和成本，确定了光学表面轮廓仪的有效空间分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 噪声 psd 校准 光学 表面 轮廓仪 有效 空间 分辨率 方法 | ||
【主权项】：
一种利用白噪声功率谱密度(PSD)校准光学表面轮廓仪有效空间分辨率的方法，其特征在于：使用被校准设备光学表面轮廓仪的三个不同倍数物镜对光学元件表面测试，描绘其结果在对数坐标下的功率谱密度(PSD)曲线。
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