[发明专利]一种掩膜板支撑装置和清洗掩膜板的方法

摘要

本发明提供一种掩膜板支撑装置和清洗掩膜板的方法，涉及半导体技术领域。该掩膜板支撑装置，包括用于支撑掩膜板的框架以及设置于所述框架底部并与所述框架组成容置空间的底板；其中，所述框架的外侧设置有用于防止掩膜板水平移动的防滑挡板，所述防滑挡板的顶端高于所述框架的顶端。该掩膜板支撑装置，由于具有设置于框架底部并与框架组成容置空间的底板，可以在清洗掩膜板时防止掩膜板保护膜被清洗液腐蚀，因而在进行掩膜板清洗时，可以省略去除和安装掩膜板保护膜的步骤，降低工艺复杂度和成本。该清洗掩膜板的方法，应用了上述的掩膜板支撑装置，省略了去除和安装掩膜板保护膜的步骤，降低了工艺复杂度和成本。

主权项

一种掩膜板支撑装置，其特征在于，包括用于支撑掩膜板的框架以及设置于所述框架底部并与所述框架组成容置空间的底板；其中，所述框架的外侧设置有用于防止掩膜板水平移动的防滑挡板，所述防滑挡板的顶端高于所述框架的顶端。