[发明专利]一种气压下滑式芯片测试系统及方法无效
申请号: | 201410051903.2 | 申请日: | 2014-02-16 |
公开(公告)号: | CN103809107A | 公开(公告)日: | 2014-05-21 |
发明(设计)人: | 徐正元 | 申请(专利权)人: | 成都市中州半导体科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R1/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 611731 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种气压下滑式芯片测试系统,包括待测区域、测试区域、完成区域、封闭滑轨1、封闭滑轨2、气压产生设备、输气管道1、输气管道2及测试仪。所述封闭滑轨1分别与所述待测区域和所述测试区域连接,所述封闭滑轨2分别与所述测试区域和所述完成区域连接,所述气压产生设备通过所述输气管道1和输气管道2分别与所述待测区域和测试区域连接,所述气压产生设备还与所述测试仪连接,并受所述测试仪的控制,所述测试仪还分别与待测区域、测试区域及完成区域连接,所述测试仪控制待测区域、测试区域及完成区域进行测试工作。本发明还提供了一种气压下滑式芯片测试方法。本发明的实现,有效地提高了测试效率,缩短了测试时间,节约了测试成本。 | ||
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【主权项】:
一种气压下滑式芯片测试系统,包括包括待测区域、测试区域、完成区域、封闭滑轨1、封闭滑轨2、及测试仪,其特征在于还包括气压产生设备、输气管道1、输气管道2。所述待测区域与所述封闭滑轨1的一端连接,所述封闭滑轨1的另一端与所述测试区域的一端连接,所述测试区域的另一端与所述封闭滑轨2的一端连接,所述封闭滑轨2的另一端与所述完成区域连接,所述气压产生设备通过所述输气管道1与所述待测区域连接,所述气压产生设备通过所述输气管道2与所述测试区域连接,所述气压产生设备还与所述测试仪连接,并受所述测试仪的控制,所述测试仪还分别与待测区域、测试区域及完成区域连接,所述测试仪控制待测区域、测试区域及完成区域进行测试工作。
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