[发明专利]包含一层应力产生材料的电路组件及其形成方法有效
| 申请号： | 201410052718.5 | 申请日： | 2014-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN103996699B | 公开（公告）日： | 2017-08-29 |
| 发明（设计）人： | J·冯克鲁格 | 申请（专利权）人： | 格罗方德半导体公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司11314 | 代理人： | 程伟,王锦阳 |
| 地址： | 英属开曼群*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及包含一层应力产生材料的电路组件及其形成方法，一种晶体管包含源极区域、漏极区域、通道区域、栅极电极以及一层应力产生材料。该应力产生材料提供响应作用在该应力产生材料上的信号而可调变的应力。该层应力产生材料是设置成在至少该通道区域中提供应力。提供在至少该通道区域中的应力是响应作用在该应力产生材料上的信号而可调变。提供响应作用在该应力产生材料上的信号而可调变的应力的该层应力产生材料也可以被用在不同于晶体管的电路组件中，举例而言，电阻器。 | ||
| 搜索关键词： | 包含 一层 应力 产生 材料 电路 组件 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种晶体管，包括：源极区域、漏极区域、通道区域以及栅极电极；以及一层应力产生材料，该应力产生材料提供响应作用在该应力产生材料上的信号而可调变的应力；其中，该层应力产生材料是设置成在包括至少该通道区域的半导体区域提供应力，提供给该半导体区域的该应力响应作用在该应力产生材料上的信号而可调变。
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