[发明专利]内置式CCD安防监控滤光片的制备方法在审

专利信息
申请号: 201410053079.4 申请日: 2014-02-17
公开(公告)号: CN104849778A 公开(公告)日: 2015-08-19
发明(设计)人: 朱凯敏 申请(专利权)人: 上海雄汉实业有限公司
主分类号: G02B1/10 分类号: G02B1/10;C23C14/30;C23C14/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201615 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种内置式CCD安防监控滤光片的制备方法,包括如下步骤:将玻璃片加工成:455mm×355mm×0.55mm-60mm×60mm×0.55mm的玻璃基片;步骤1所得的玻璃基片进行超声波清洗,去除表面的灰尘、脏印及其他有机或无机的吸附物;将步骤2所得玻璃基片进行干燥;在局部100级超净的环境中,将步骤3所得玻璃基片转移到镀膜夹具上,再转移到镀膜伞上,进入真空室进行烘烤以及抽真空;将步骤4所得玻璃基片两面进行离子束辅助电子束真空镀膜,得半成品。本发明能在超薄的无色玻璃基片上完成异常复杂的薄膜镀制,使之能满足CCD安防监控用的光学性能要求,切换速度快,能耗低,使用寿命长的要求。
搜索关键词: 内置 ccd 监控 滤光 制备 方法
【主权项】:
内置式CCD安防监控滤光片的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:将玻璃片加工成:455mm×355mm×0.55mm‑60mm×60mm×0.55mm的玻璃基片;步骤2:步骤1所得的玻璃基片进行超声波清洗,去除表面的灰尘、脏印及其他有机或无机的吸附物;步骤3:将步骤2所得玻璃基片进行干燥;步骤4:在局部100级超净的环境中,将步骤3所得玻璃基片转移到镀膜夹具上,再转移到镀膜伞上,进入真空室进行烘烤以及抽真空;步骤5:将步骤4所得玻璃基片两面进行离子束辅助电子束真空镀膜,得半成品;步骤6:将半成品裁切成客户需要的小尺寸,得成品;步骤7:对成品进行清洗、检验,最后包装入库。
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