[发明专利]内置式CCD安防监控滤光片的制备方法在审
申请号: | 201410053079.4 | 申请日: | 2014-02-17 |
公开(公告)号: | CN104849778A | 公开(公告)日: | 2015-08-19 |
发明(设计)人: | 朱凯敏 | 申请(专利权)人: | 上海雄汉实业有限公司 |
主分类号: | G02B1/10 | 分类号: | G02B1/10;C23C14/30;C23C14/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201615 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种内置式CCD安防监控滤光片的制备方法,包括如下步骤:将玻璃片加工成:455mm×355mm×0.55mm-60mm×60mm×0.55mm的玻璃基片;步骤1所得的玻璃基片进行超声波清洗,去除表面的灰尘、脏印及其他有机或无机的吸附物;将步骤2所得玻璃基片进行干燥;在局部100级超净的环境中,将步骤3所得玻璃基片转移到镀膜夹具上,再转移到镀膜伞上,进入真空室进行烘烤以及抽真空;将步骤4所得玻璃基片两面进行离子束辅助电子束真空镀膜,得半成品。本发明能在超薄的无色玻璃基片上完成异常复杂的薄膜镀制,使之能满足CCD安防监控用的光学性能要求,切换速度快,能耗低,使用寿命长的要求。 | ||
搜索关键词: | 内置 ccd 监控 滤光 制备 方法 | ||
【主权项】:
内置式CCD安防监控滤光片的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:将玻璃片加工成:455mm×355mm×0.55mm‑60mm×60mm×0.55mm的玻璃基片;步骤2:步骤1所得的玻璃基片进行超声波清洗,去除表面的灰尘、脏印及其他有机或无机的吸附物;步骤3:将步骤2所得玻璃基片进行干燥;步骤4:在局部100级超净的环境中,将步骤3所得玻璃基片转移到镀膜夹具上,再转移到镀膜伞上,进入真空室进行烘烤以及抽真空;步骤5:将步骤4所得玻璃基片两面进行离子束辅助电子束真空镀膜,得半成品;步骤6:将半成品裁切成客户需要的小尺寸,得成品;步骤7:对成品进行清洗、检验,最后包装入库。
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