[发明专利]微波离子源及其启动方法有效
| 申请号： | 201410053592.3 | 申请日： | 2014-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN103996591A | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 高桥伸明;村田裕彦 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | H01J27/16 | 分类号： | H01J27/16 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种用于启动微波离子源的实用方法、及根据这种启动方法而被控制的微波离子源。微波离子源（10）具备：等离子体室（12）；磁场发生器（16），用于在等离子体室（12）产生磁场；及控制装置（C），将磁场发生器（16）控制成对等离子体室（12）施加用于等离子体点火的初始磁场且在等离子体点火后使初始磁场变更为普通磁场。等离子体室（12）也可以具备用于接受微波的真空窗（24）、及离子引出开口（66）。初始磁场也可以从真空窗（24）遍及离子引出开口（66）具有平坦的磁场分布。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 离子源 及其 启动 方法 | ||
【主权项】：
一种微波离子源，其特征在于，具备：等离子体室；磁场发生器，用于在所述等离子体室产生磁场；及控制部，将所述磁场发生器控制成，对所述等离子体室施加用于等离子体点火的初始磁场，且在等离子体点火后使所述初始磁场变更为普通磁场。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于住友重机械工业株式会社，未经住友重机械工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410053592.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
