[发明专利]波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备在审
| 申请号： | 201410055167.8 | 申请日： | 2014-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN104007497A | 公开（公告）日： | 2014-08-27 |
| 发明（设计）人： | 新东晋;坂下友树 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;G02B26/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备。第一驱动电极（36）的厚度尺寸形成得大于第一反射膜（35）的厚度尺寸及第一导电膜（37）的厚度尺寸的和，第一驱动电极（36）从固定基板（30）的表面延伸至第一导电膜（37）的外缘部的表面并接触，第二驱动电极（46）的厚度尺寸形成得大于第二反射膜（45）的厚度尺寸及第二导电膜（47）的厚度尺寸的和，第二驱动电极（46）从可动基板（40）的表面延伸至第二导电膜（47）的外缘部的表面并接触。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 可变 干涉 滤波器 滤光 设备 模块 电子设备 | ||
【主权项】：
一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，设置于所述第一基板；第二反射膜，设置于所述第二基板，与所述第一反射膜相对配置；导电性的第一导电膜，层叠于所述第一反射膜；导电性的第二导电膜，层叠于所述第二反射膜；第一连接电极，设置于所述第一基板，在所述第一基板上与所述第一导电膜电连接；以及第二连接电极，设置于所述第二基板，在所述第二基板上与所述第二导电膜电连接，所述第一连接电极的厚度尺寸形成得大于所述第一反射膜的厚度尺寸和所述第一导电膜的厚度尺寸的和，所述第一连接电极从所述第一基板的表面延伸至所述第一导电膜的外缘部的表面并接触，所述第二连接电极的厚度尺寸形成得大于所述第二反射膜的厚度尺寸和所述第二导电膜的厚度尺寸的和，所述第二连接电极从所述第二基板的表面延伸至所述第二导电膜的外缘部的表面并接触。
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