[发明专利]蒸发设备有效
申请号: | 201410057314.5 | 申请日: | 2014-02-20 |
公开(公告)号: | CN104711520B | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
发明(设计)人: | 李秀奂;林宰圣;朴振佑 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26;C23C14/04 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 余朦;王艳春 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 蒸发设备包括坩埚体、加热部、喷嘴部和多个隔热板。在坩埚体中容纳沉积材料。加热部蒸发容纳于坩埚体中的沉积材料。喷嘴部具有至少一个喷孔,沉积材料通过该喷孔喷射。多个隔热板被设置在坩埚体内以将坩埚体划分为多个容纳空间,并且分隔板具有开口,容纳空间通过开口而彼此相通。 | ||
搜索关键词: | 蒸发 设备 | ||
【主权项】:
1.一种蒸发设备,包括:坩埚体,配置成在其中容纳沉积材料;加热部,配置成蒸发容纳在所述坩埚体中的所述沉积材料;喷嘴部,配置成具有至少一个喷孔,所述沉积材料通过所述喷嘴部喷射;以及多个分隔板,设置在所述坩埚体内部以将所述坩埚体分为多个容纳空间,所述多个分隔板具有开口,所述容纳空间通过所述开口而彼此相通,其中,所述分隔板和所述坩埚体具有不同的热导率。
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