[发明专利]一种基于褶皱的金属表面纳米结构制备方法有效
| 申请号： | 201410057975.8 | 申请日： | 2014-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN103789741A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 刘前 | 申请（专利权）人： | 苏州华维纳纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/20;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 苏州慧通知识产权代理事务所(普通合伙) 32239 | 代理人： | 丁秀华 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种基于褶皱的金属表面纳米结构制备方法，所述制备方法包括如下步骤：a.选取基底；b.在所选基底上形成聚合物薄膜，并进行烘干处理，得到该聚合物薄膜的厚度为5100nm；c.在步骤b所得的聚合物薄膜上形成金属薄膜，其厚度为220nm；d.采用原子力显微镜在步骤c所得的金属薄膜表面进行图案化扫描；e.将步骤d所得的产物加热至所述聚合物薄膜的玻璃化转变温度。该制备方法可以实现褶皱结构的纳米尺度在一百纳米以下，并且方法简易，具有可设计性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 褶皱 金属表面 纳米 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于褶皱的金属表面纳米结构制备方法，其特征在于所述制备方法包括如下步骤：a、选取基底；b、在所选基底上形成聚合物薄膜，并进行烘干处理，得到该聚合物薄膜的厚度为5100nm；c、在步骤b所得的聚合物薄膜上形成金属薄膜，其厚度为220nm；d、采用原子力显微镜在步骤c所得的金属薄膜表面进行图案化扫描；e、将步骤d所得的产物加热至所述聚合物薄膜的玻璃化转变温度。
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