[发明专利]一种基于MEMS弹簧的微型减振平台在审
申请号: | 201410058128.3 | 申请日: | 2014-02-20 |
公开(公告)号: | CN104864010A | 公开(公告)日: | 2015-08-26 |
发明(设计)人: | 徐楷斯;张威;苏卫国;朱宁莉;万松 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | F16F3/10 | 分类号: | F16F3/10;F16F15/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100871*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于MEMS弹簧的微型减振平台。本发明的微型减振平台主要由三层单元隔振平台组成,上层和中层单元隔振平台的下表面都均匀涂有减振胶,中层和下层单元隔振平台的上表面有凸台阵列,每层单元隔振平台的四周设有平面弹簧,平面弹簧的外围设有边框。本发明的微型减振平台通过平面弹簧形变及凸台阵列和减振胶的完全非弹性碰撞,可有效延长撞击时间并吸收冲击的能量。凸台阵列和减振胶撞击后三层平台成为一个整体,弹簧刚度成倍增加,实现了大阻尼减振。若在液体环境中使用,高频冲击下平面弹簧与隔振平台之间的间隔以及每层隔振平台之间的间隔可以产生较大的滑膜阻尼和压膜阻尼。其主体结构为硅基材料,适合采用MEMS工艺大规模制备。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 mems 弹簧 微型 平台 | ||
【主权项】:
一种基于MEMS弹簧的微型减振平台,其特征在于,所述的基于MEMS弹簧的微型减振平台包括:上层单元隔振平台1,上层平面弹簧2,上层减振胶3,中层单元隔振平台4,中层平面弹簧5,中层减振胶6,下层单元隔振平台7,下层平面弹簧8和边框9。其中,在每层单元隔振平台的四周设置有相应的平面弹簧,在上层和中层单元隔振平台的下表面分别均匀涂有减振胶,在三层平面弹簧的外围设置边框9。
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