[发明专利]图案形成装置及图案形成方法

摘要

本发明提供图案形成装置及图案形成方法。通过框缘状下载物台（61）吸附保持橡皮布，并且通过能够分别单独地升降的多个手部（625）支撑橡皮布的中央部的局部。使转印辊单元（64）沿着橡皮布的下表面移动来托起橡皮布的局部，从而使橡皮布抵接于橡皮布的上方所配置的版或者基板上。随着转印辊单元（64）移动，使手部（625）依次下降来向下方退避，从而避免该手部（625）与转印辊单元（64）发生干涉。

主权项

一种图案形成装置，其特征在于，具有：第一保持单元，具有多个分别与橡皮布的下表面的局部抵接的局部支撑部，多个所述局部支撑部以一面上担载有图案形成材料的所述橡皮布的所述图案形成材料的担载面朝上的方式在下表面侧与所述橡皮布相抵接，从而将所述橡皮布支撑为水平姿势；第二保持单元，将用于对所述图案形成材料进行图案成形的版或者要被转印图案的基板作为处理对象物，以使该处理对象物与被所述第一保持单元保持的所述橡皮布的上表面接近且相向的方式，保持该处理对象物；托起构件，从所述橡皮布的下表面侧局部地托起所述橡皮布中央部的有效区域，来使所述有效区域与被所述第二保持单元保持的所述处理对象物相抵接，而且沿着所述橡皮布的下表面移动来使所述橡皮布的托起位置发生变化；升降单元，能够使多个所述局部支撑部分别单独地升降。