[发明专利]一种基于服务器的晶圆缺陷监测分析方法

摘要

本发明提供了一种基于服务器的缺陷监测分析方法，包括：设定服务器的分析比对模块的特定类型缺陷；将缺陷扫描机的缺陷扫描结果导入服务器中；服务器的分析比对模块将缺陷扫描机导入的缺陷扫描结果与特定类型缺陷对比；如果缺陷扫描结果达到特定类型缺陷，则服务器的报警模块进行报警。本发明的技术方案通过缺陷检测分析，自动进行缺陷警报，可以快速的获取缺陷情况，工程师可以进行实时缺陷分析，以提高制程良率，避免制程失败情况。

主权项

一种基于服务器的晶圆缺陷监测分析方法，所述服务器与缺陷扫描机台连接，所述服务器中包括分析比对模块和报警模块，其特征在于，所述缺陷监测分析方法包括以下步骤：步骤1，在所述服务器的分析比对模块中设定的关于晶圆的特定类型缺陷规格；步骤2，将所述缺陷扫描机获得的关于晶圆的缺陷扫描结果导入所述服务器中；步骤3，所述服务器的分析比对模块将所述缺陷扫描机导入的缺陷扫描结果与所述特定类型缺陷规格对比；步骤4，如果所述缺陷扫描结果达到所述特定类型缺陷规格，则所述服务器的报警模块进行报警。