[发明专利]一种平面透射电镜样品及其制备方法无效
| 申请号： | 201410059926.8 | 申请日： | 2014-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN103868769A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 陈强 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种平面透射电镜样品及其制备方法，包括样品本体、目标和油性材料，所述样品本体上加工有截面，所述目标位于所述样品本体的截面上，所述油性材料为透光的油性材料，所述油性材料涂覆于所述目标之上。本发明的技术方案成本较低，简便易行，对于目标在表面或表层的平面TEM样品分析，也能达到非常好的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 透射 样品 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种平面透射电镜样品，其特征在于，包括样品本体、目标和油性材料，所述样品本体上加工有截面，所述目标位于所述样品本体的截面上，所述油性材料为透光的油性材料，所述油性材料与所述样品本体的截面连接，所述油性材料涂覆于所述目标之上。
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