[发明专利]时分频分复用的转子式微陀螺检测装置

摘要

时分频分复用的转子式微陀螺检测装置，属于MEMS器件领域，本发明为解决现有两种差分电容检测方法存在问题。本发明包括转子式微陀螺敏感单元、电荷电压转换单元、相敏解调单元、模数转换单元、信号处理单元、数模转换单元、第一低高压转换单元、第二低高压转换单元和两个时分频分复用单元；两个时分频分复用单元的载波激励信号V⁺、V^-与反馈控制信号复用加载至转子式微陀螺敏感单元；转子式微陀螺敏感单元的等效陀螺信号输出端与相敏解调单元的输入端相连；相敏解调单元的解调信号输出检测信号；相敏解调单元的解调信号输出端与模数转换单元的模拟信号输入端相连；然后进行模数转换、信号处理、数模转换和低压变高压，反馈至两个时分频分复用单元。

主权项

时分频分复用的转子式微陀螺检测装置，其特征在于，它包括转子式微陀螺敏感单元(100)、电荷电压转换单元(101)、相敏解调单元(102)、模数转换单元(103)、信号处理单元(104)、数模转换单元(105)、第一低高压转换单元(106)、第二低高压转换单元(107)、第一时分频分复用单元(108)和第二时分频分复用单元(109)；第一时分频分复用单元(108)的载波激励信号V⁺与反馈控制信号复用加载至转子式微陀螺敏感单元(100)的第一组复用信号输入端；第二时分频分复用单元(109)的载波激励信号V^‑与反馈控制信号复用加载至转子式微陀螺敏感单元(100)的第二组复用信号输入端；转子式微陀螺敏感单元(100)的等效陀螺信号输出端与相敏解调单元(102)的输入端相连；相敏解调单元(102)的解调信号输出端作为时分频分复用的转子式微陀螺检测装置的检测信号输出端；相敏解调单元(102)的解调信号输出端还与模数转换单元(103)的模拟信号输入端相连；模数转换单元(103)的数字信号输出端与信号处理单元(104)的输入端相连；信号处理单元(104)的输出端与数模转换单元(105)的数字信号输入端相连；数模转换单元(105)的模拟信号输出端同时与第一低高压转换单元(106)的低压信号输入端和第二低高压转换单元(107)的低压信号输入端相连；第一低高压转换单元(106)的反馈信控制号输出端与第一时分频分复用单元(108)的反馈控制信号输入端相连；第二低高压转换单元(107)的反馈控制信号输出端与第二时分频分复用单元(109)的反馈控制信号输入端相连；载波激励信号V⁺与载波激励信号V^‑的相位相差180°。