[发明专利]真空截止阀有效
| 申请号： | 201410061946.9 | 申请日： | 2014-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN104048103B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 赵汉重;金相镐 | 申请（专利权）人： | 艾姆斯特工程有限公司 |
| 主分类号： | F16K51/00 | 分类号： | F16K51/00;F16L55/00 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司11286 | 代理人： | 胡江海,李柱天 |
| 地址： | 韩国忠清*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本发明的真空截止阀包括外罩部，设置于腔和腔洗涤气体供给部之间，形成用于连接腔和腔洗涤气体供给部使其相连通的管道；管道阻隔部，形成于管道的预定位置，用于选择性地阻隔管道；第一阻隔部，设置于外罩部，沿着第一方向移动并选择性地阻隔管道阻隔部的开放的第一面，确保腔和腔洗涤气体供给部保持相连通的状态；第二阻隔部，在第一阻隔部沿着第一方向移动的情况下，沿着第二方向移动并施压于第一阻隔部，确保腔和腔洗涤气体供给部保持相连通的状态，而在第一阻隔部沿着与第一方向相反的方向移动的情况下，沿着第二方向移动并通过第一面来插入到管道阻隔部，紧贴于第一面的对置面并阻隔管道，从而阻隔腔和腔洗涤气体供给部的连通。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 截止阀 | ||
【主权项】：
一种真空截止阀，其包括：外罩部，设置于腔和腔洗涤气体供给部之间，形成用于连接上述腔和上述腔洗涤气体供给部使其相连通的管道；管道阻隔部，形成于上述管道的预定位置，用于选择性地阻隔管道；第一阻隔部，设置于上述外罩部，沿着第一方向移动并选择性地阻隔上述管道阻隔部的开放的第一面，以备实现上述腔和上述腔洗涤气体供给部保持相连通的状态；第二阻隔部，设置于上述外罩部，在上述第一阻隔部沿着上述第一方向移动的情况下，沿着第二方向移动并施压于上述第一阻隔部而使第一阻隔部紧贴于管道，从而确保上述腔和上述腔洗涤气体供给部保持相连通的状态的实现，而在上述第一阻隔部沿着上述第一方向的相反方向移动的情况下，沿着上述第二方向移动并通过上述第一面来插入到上述管道阻隔部，紧贴于上述第一面的对置面并阻隔上述管道，从而阻隔上述腔和上述腔洗涤气体供给部的连通。
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