[发明专利]一种镀膜方法、镀膜装置和镀膜生成系统

摘要

本发明提供一种镀膜方法、镀膜装置和镀膜生成系统。该镀膜方法，对置于镀膜腔室内载台上的待镀基板进行镀膜，该方法包括采集腔室内壁上的镀膜厚度数据；对镀膜厚度数据进行处理，以获取腔室内壁上的膜层的厚度。该镀膜方法通过采集腔室内壁上的镀膜厚度数据；对镀膜厚度数据进行处理，以获取腔室内壁上的膜层的厚度，使得镀膜装置的清洁更加智能化，消除了现有技术中清洁需要人为控制的麻烦，从而提高了镀膜装置的清洁效率。该镀膜生成系统通过采用该镀膜装置，使镀膜生成系统的清洁更加智能化，从而大大提高了镀膜生成系统的清洁和运作效率。

主权项

一种镀膜方法，对置于镀膜腔室内载台上的待镀基板进行镀膜，其特征在于，所述方法包括：采集所述腔室内壁上的镀膜厚度数据，所述腔室内环绕所述载台的内壁上设置有遮挡板，所述遮挡板上表面设置有采样块；所述采集所述腔室内壁上的镀膜厚度数据包括：采用光反射法采集所述遮挡板上表面的所述采样块的所述镀膜厚度数据，所述遮挡板与所述载台的顶面平行；且所述采样块采用透明玻璃制成；对所述镀膜厚度数据进行处理，以获取所述腔室内壁上的膜层的厚度。