[发明专利]MEMS振子及其制造方法、电子设备以及移动体无效
| 申请号： | 201410063348.5 | 申请日： | 2014-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN104022752A | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 衣川拓也;山田明法 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/24;H03H3/02;G06F1/16;H04M1/02;H04N5/225 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;马建军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供MEMS振子及其制造方法、电子设备以及移动体，可抑制振动频率的改变和破损。MEMS振子具有：绝缘部；设置于绝缘部的一个面的第1电极、固定部和功能部；以及第2电极，其被设置成至少一部分隔着间隙与第1电极重叠，第2电极与功能部抵接，从固定部起延伸设置。 | ||
| 搜索关键词： | mems 及其 制造 方法 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
一种MEMS振子，其特征在于，该MEMS振子具有：绝缘部；设置于所述绝缘部的一个面的第1电极、固定部和功能部；以及第2电极，其被设置成在从与所述一个面垂直的方向俯视时，至少一部分隔着间隙与所述第1电极重叠，所述第2电极与所述功能部抵接，从所述固定部起延伸设置。
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