[发明专利]研磨部件的外形调整方法以及研磨装置有效
| 申请号： | 201410065221.7 | 申请日： | 2014-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN104002240B | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 岛野隆宽;谷川睦;松尾尚典;山口都章;渡边和英 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B37/04;B24B37/27;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所31210 | 代理人： | 梅高强,刘煜 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种研磨部件的外形调整方法，分别在沿砂轮修整器(5)的摆动方向预先设定在研磨部件(10)上的多个摆动区间(Z1～Z5)对研磨部件(10)的表面高度进行测量，计算目前外形与研磨部件(10)的目标外形的差值，所述目前外形根据表面高度的测量值而得，对多个摆动区间(Z1～Z5)的轮修整工具(5)的移动速度进行补正以消除该差值。采用本发明，能实现作为目标的研磨部件的外形。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 部件 外形 调整 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
一种研磨部件的外形调整方法，该研磨部件用于研磨基板，其特征在于，使砂轮修整器在所述研磨部件上摆动而对该研磨部件进行修整，分别在多个摆动区间对所述研磨部件的表面高度进行测量，所述多个摆动区间沿所述砂轮修整器的摆动方向预先设定在所述研磨部件上，计算目前切割速率与所述研磨部件的目标切割速率的差值，所述目前切割速率是根据所述表面高度的测量值而得到的，对所述多个摆动区间的所述砂轮修整器的移动速度进行补正以消除所述差值。
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