[发明专利]聚焦离子束低千伏增强有效
| 申请号： | 201410066714.2 | 申请日： | 2014-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN104008943B | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | M.马佐斯 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/21 | 分类号： | H01J37/21;H01J37/147;H01J37/28;H01J37/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 马红梅,胡莉莉 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种带电粒子束系统，其中，聚焦离子束柱的中间段被偏置到高负电压，该电压允许该束在比该柱的那个区段内的最终束能量更高的电势下移动。在低kV电势下，减少了色差和库仑相互作用，这使斑点尺寸产生显著改进。 | ||
| 搜索关键词： | 聚焦 离子束 千伏 增强 | ||
【主权项】：
一种带电粒子束系统，包括：带电粒子的源；带电粒子束聚焦柱，被配置成将所述带电粒子聚焦成带电粒子束，其中所述带电粒子束聚焦柱的中间段的组件包括被配置成跨靶体的表面扫描所述带电粒子束的扫描静电偏转器；以及电压模块，被配置成将浮动偏置电压施加到所述组件，使得所述带电粒子束在所述中间段内部比在所述表面处以更高的动能移动。
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