[发明专利]光谱仪氩气激发系统

摘要

本发明提供了一种光谱仪氩气激发系统，包括强吹气路、主气路、侧气路、公共气路、快门控制气路，上述各气路设置在光谱仪氩气激发系统的集成气路板上；所述强吹气路的气流入口为气源，气流出口为第一出气口；所述公共气路的气流入口为气源，并连接所述快门控制气路；所述主气路的气流入口在所述公共气路上，并设置有氩气表，气流出口为第一出气口；所述侧气路的气流入口在所述公共气路上，气流出口为第二出气口；所述快门控制气路的气流出口为第三出气口；上述各气路上分别至少设置有一个电磁阀。本发明使得光谱仪氩气激发系统能够改变压强、有不同气路设计且气密性良好，提高了氩气激发系统的精度。

主权项

一种光谱仪氩气激发系统，其特征在于，包括强吹气路（A）、主气路（B）、侧气路（C）、公共气路（D）、快门控制气路（E），上述各气路设置在光谱仪氩气激发系统的集成气路板（1）上；所述强吹气路（A）的气流入口为气源（17），气流出口为第一出气口（18）；所述公共气路（D）的气流入口为气源（17），并连接所述快门控制气路（E）；所述主气路（B）的气流入口在所述公共气路（D）上，并设置有氩气表（3），气流出口为第一出气口（18）；所述侧气路（C）的气流入口在所述公共气路（D）上，气流出口为第二出气口（19）；所述快门控制气路（E）的气流出口为第三出气口（20）；上述各气路上分别设置有至少一个电磁阀。