[发明专利]等离子体处理装置

摘要

提供一种能够正确地检测电弧放电的产生的等离子体处理装置。使用等离子体对基板(G)实施处理的等离子体处理装置(10)具备腔室(11)，其被提供高频电力而在内部产生等离子体；第一微分电路(21)，其对高频电力的行波电压Vf进行时间微分；第二微分电路(23)，其对高频电力的反射波电压Vr进行时间微分；比较器(22)，其计算dVr/dt‑dVf/dt，在计算出的该dVr/dt‑dVf/dt超过电弧放电检测值的情况下，判断为在腔室(11)内产生了电弧放电而发送信号；以及二极管(25)，其在dVf/dt为负值的情况下，将dVf/dt设为0，使得dVr/dt‑dVf/dt变小。

主权项

一种等离子体处理装置，具备被提供高频电力的处理室，使上述处理室内产生等离子体而使用该等离子体对被处理体实施处理，该等离子体处理装置的特征在于，还具备：第一时间微分部，其对施加给上述处理室的高频电力的行波电压进行时间微分；第二时间微分部，其对从上述处理室返回的高频电力的反射波电压进行时间微分；判断部，其计算与上述反射波电压的时间微分值和上述行波电压的时间微分值的差分对应的值，在计算出的该与差分对应的值超过规定的阈值的情况下，判断为在上述处理室内产生了电弧放电；以及微分值变更部，其在上述行波电压的时间微分值为负值的情况下，至少变更上述反射波电压的时间微分值和上述行波电压的时间微分值中的某一个，使得上述与差分对应的值变得小于规定的阈值。