[发明专利]纳米结构的转移方法有效
| 申请号： | 201410070671.5 | 申请日： | 2014-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN104876181B | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 何宇俊;李东琦;李天一;魏洋;姜开利;范守善 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;B81C1/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种纳米结构的转移方法，包括以下步骤提供一生长基底，该生长基底表面具有多个纳米结构；提供一粘胶层覆盖所述多个纳米结构；通过移动所述粘胶层和所述生长基底中至少一个，使所述粘胶层远离所述生长基底，从而使所述多个纳米结构与所述生长基底分离，并使所述多个纳米结构从所述粘胶层暴露出来；提供一目标基底，将该粘胶层设置在所述目标基底上，并使所述多个纳米结构与所述目标基底的表面接触；在所述粘胶层远离目标基底的表面设置一金属层，形成一纳米复合结构，所述金属层完全将所述粘胶层覆盖；提供一有机溶剂，将所述纳米复合结构放入该有机溶剂中，去除所述粘胶层和金属层。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 结构 转移 方法 | ||
【主权项】：
一种纳米结构的转移方法，包括以下步骤：提供一生长基底，该生长基底表面具有一纳米结构层；提供一粘胶层覆盖所述纳米结构层，该粘胶层具有相对的第一表面和第二表面，所述纳米结构层与所述第一表面接触；通过移动所述粘胶层和所述生长基底中至少一个，使所述粘胶层远离所述生长基底，从而使所述纳米结构层被所述粘胶层粘附并与所述生长基底分离，至少部分纳米结构层从所述粘胶层暴露出来；提供一目标基底，将该粘胶层与所述目标基底层叠设置，使所述纳米结构层位于所述粘胶层与所述目标基底之间，并与所述目标基底接触设置；在所述粘胶层的第二表面设置一金属层；以及提供一有机溶剂，使该有机溶剂从所述粘胶层的第一表面渗透，使所述粘胶层连同所述金属层与所述纳米结构层及目标基底分离。
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