[发明专利]一种保护膜的真空镀膜方法有效
| 申请号： | 201410071761.6 | 申请日： | 2014-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN103774143A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 黄伟雄 | 申请（专利权）人： | 东莞星晖真空镀膜塑胶制品有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C16/44;C23C14/26 |
| 代理公司： | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人： | 卞华欣 |
| 地址： | 523710 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及金属膜上镀保护膜的技术领域，具体涉及一种保护膜的真空镀膜方法，包括以下制备步骤：步骤1：抽真空：将待镀膜产品置于真空室，然后抽真空，同时加热，使容器的上层形成水蒸气；步骤2：镀金属膜：利用蒸发式镀金属膜的工艺镀金属膜；步骤3：镀完金属膜之后通空气：关闭扩散泵，打开分子栅，通过流量计向真空室充入空气，并稳定真空度保持0.2-1分钟；步骤4：清洁金属膜表面：启动离子轰击电源；步骤5：然后镀保护膜：充入有机硅的液体蒸汽，并保持气压不变，再次启动离子轰击电源，使有机硅在金属膜上逐层生长形成保护膜，具有生产效率高，成本低，保护膜致密性好，保护性能强，适用范围广的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 保护膜 真空镀膜 方法 | ||
【主权项】：
一种保护膜的真空镀膜方法，其特征在于：包括以下制备步骤：步骤1：抽真空：将待镀膜产品置于真空室，然后抽真空至5*10‑3 Pa ‑ 6*10‑2Pa，同时加热至95‑120℃，使容器的上层形成水蒸气；步骤2：镀金属膜：利用蒸发式镀金属膜的工艺镀金属膜；步骤3：镀完金属膜之后通空气：关闭扩散泵，打开分子栅，通过流量计向真空室充入空气，并稳定真空度在0‑20Pa保持0.2‑1分钟；步骤4：清洁金属膜表面：启动离子轰击电源，调节轰击电流稳定在1‑8A，持续时间1‑3分钟，然后关闭；步骤5：然后镀保护膜：充入有机硅的液体蒸汽，并保持气压不变0.2‑1分钟，再次启动离子轰击电源，调节轰击电流稳定在1‑8A，然后保持3‑8分钟，使有机硅在金属膜上逐层生长形成保护膜。
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