[发明专利]金属剥离工具和方法

摘要

在某些实施方案中，金属剥离工具包括浸没槽，用于接收晶圆盒，在所述晶圆盒中带有晶圆，所述浸没槽包括内部堰；升降机构，能够在所述晶圆盒沉没在所述浸没槽中的流体内时抬升和降低所述晶圆盒；低压高速的主要喷洒器，用于剥去金属，所述主要喷洒器定位在所述浸没槽的相对两侧处，平行于所述晶圆表面平面；以及，次要喷洒器，用于压力平衡力，定位在所述浸没槽的底部处。晶圆提升插入件定位在所述浸没槽的底部处，以接收和周期性地提升所述盒内的晶圆。

主权项

一种金属剥离方法，包括：a.将晶圆盒浸没在浸没槽内的工作流体中，该浸没槽具有相对的第一侧壁和第二侧壁以及底部；b.直接朝向晶圆的表面引导来自沿着所述浸没槽的至少一个侧壁定位的主要的流体喷洒器的工作流体流，使得该工作流体流流在该盒中的晶圆的表面上，同时该盒浸没在该工作流体中；c.在引导来自主要的流体喷洒器的工作流体流的同时，在所述浸没槽内抬升和降低该晶圆盒以穿过所述主要的流体喷洒器；以及d.引导来自定位在该浸没槽的底部处的次要的流体喷洒器的工作流体流，使得工作流体流相对于该浸没槽的底部直接在朝上方向上流动。