[发明专利]一种三维纳米尺度光子晶体力传感器

摘要

一种三维纳米尺度光子晶体力传感器，涉及力的测量领域。本发明是为了解决现有的传感器不能实现多维测量及测量精度低的问题。纳米谐振腔嵌在三个微悬臂梁传感器上；二号微悬臂梁传感器位于三维直角坐标系的XOZ平面上，且二号基座位于Y轴负方向，一号微悬臂梁传感器位于三维直角坐标系的XOY平面上，且一号微悬臂梁传感器基座位于Z轴负方向，三号微悬臂梁传感器位于三维直角坐标系的YOZ平面上，且L形基座位于X轴正方向，一号微悬臂梁传感器分别垂直于二号微悬臂梁传感器和三号微悬臂梁传感器，且一号微悬臂梁传感器一个侧面与二号微悬臂梁传感器首端侧面、三号微悬臂梁传感器的外侧面位于同一平面内。本发明适用于对三维力进行测量。

主权项

一种三维纳米尺度光子晶体力传感器，其特征在于，它包括一号微悬臂梁传感器（1）、二号微悬臂梁传感器（2）、三号微悬臂梁传感器（3）和纳米谐振腔（4），所述一号微悬臂梁传感器（1）和二号微悬臂梁传感器（2）的结构相同，所述一号微悬臂梁传感器（1）为长方体的平板结构，该平板结构的正面嵌有相互平行的两条纳米谐振腔（4），所述纳米谐振腔（4）平行于所述平板结构的短边；在所述两条纳米谐振腔（4）与所述平板结构的末端之间的背面设置有凸起的基座（1‑1）；二号微悬臂梁传感器（2）位于三维直角坐标系的XOZ平面上，且二号微悬臂梁传感器（2）的基座（2‑1）位于Y轴负方向，一号微悬臂梁传感器（1）位于三维直角坐标系的XOY平面上，且一号微悬臂梁传感器（1）的基座（1‑1）位于Z轴负方向，所述一号微悬臂梁传感器（1）位于二号微悬臂梁传感器（2）两条短边的中心连线上，且一号微悬臂梁传感器（1）一个侧面与二号微悬臂梁传感器（2）首端侧面位于同一平面内；所述三号微悬臂梁传感器（3）为L形的平板结构，且所述三号微悬臂梁传感器（3）的底端为L形基座（3‑1），所述L形的平板结构的内侧面嵌有相互平行的两条纳米谐振腔（4），所述纳米谐振腔（4）平行于所述L形的平板结构的顶边，且所述纳米谐振腔（4）位于YOZ面上，所述三号微悬臂梁传感器（3）位于三维直角坐标系的YOZ平面上，且三号微悬臂梁传感器（3）的L形基座（3‑1）位于X轴正方向，所述一号微悬臂梁传感器（1）的顶端垂直且平分三号微悬臂梁传感器（3）的L形基座（3‑1），且一号微悬臂梁传感器（1）的一个侧面与三号微悬臂梁传感器（3）的外侧面位于同一平面内。