[发明专利]一种用于太阳能硅片制造的复合切割液及其制备方法无效
申请号: | 201410075366.5 | 申请日: | 2014-03-03 |
公开(公告)号: | CN103952211A | 公开(公告)日: | 2014-07-30 |
发明(设计)人: | 李新家;石冬梅 | 申请(专利权)人: | 西安通鑫半导体辅料有限公司 |
主分类号: | C10M169/04 | 分类号: | C10M169/04;C10M105/14 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 徐文权 |
地址: | 710300 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于太阳能硅片制造的复合切割液及其制备方法,包括乙二醇、粘度调节剂、缓蚀剂、消泡剂、分散剂以及防腐剂。本发明制备的复合切割液性能良好,能够应用于太阳能硅片切割,且配制简单,分散性好,切割产品成品率高,成本低。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 太阳能 硅片 制造 复合 切割 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种用于太阳能硅片制造的复合切割液,其特征在于,按照体积份数计,包括以下组份:
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