[发明专利]光学检查设备和光学检查系统

摘要

本发明涉及光学检查设备和光学检查系统。一种通过测量从光学扫描设备发射的扫描光的光量来检查光学扫描设备的光学系统的光学检查设备包括：缝隙板，提供有用于允许一部分扫描光通过的多个缝隙以使得包括扫描有效部；扩散器，扩散已经通过缝隙的扫描光；光导，引导由扩散器扩散的扫描光；光学传感器，测量由光导引导的扫描光的光量；以及检查装置，通过将光学传感器获取的测量结果与预设参考值进行比较来检查光学系统的状态，其中在利用扫描光在缝隙板上执行扫描的方向上间隔地布置缝隙。

主权项

一种光学检查设备，通过测量从光学扫描设备发射的扫描光的光量来检查光学扫描设备的光学系统，所述光学检查设备包括：缝隙板，具有多个缝隙；扩散器，扩散已经通过缝隙的扫描光；光导，引导由扩散器扩散的扫描光；光学传感器，测量由光导引导的扫描光的光量；以及检查装置，通过将光学传感器获取的测量结果与预设参考值进行比较来检查光学系统的状态，其中在执行利用扫描光的在缝隙板上的扫描的方向上在包括从光学扫描设备发射的扫描光的扫描范围中的扫描有效部的范围中间隔地布置缝隙，其中布置缝隙的节距是P，缝隙上的扫描方向上的开口宽度是W，缝隙板上的扫描光的光斑直径是D，并且满足如下关系：在P＞D的情况下0.3＜W/D＜0.7，以及在P≤D的情况下0.3＜W/P＜0.7。