[发明专利]感光性树脂组合物及其应用在审
申请号: | 201410076502.2 | 申请日: | 2014-03-04 |
公开(公告)号: | CN104035277A | 公开(公告)日: | 2014-09-10 |
发明(设计)人: | 蔡宇杰 | 申请(专利权)人: | 奇美实业股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/027;G02F1/1333 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 韩蕾 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: |
本发明是有关一种感光性树脂组合物及其应用,所述感光性树脂组合物包含:碱可溶性树脂(A);含乙烯性不饱和基的化合物(B);光起始剂(C);及溶剂(D);该含乙烯性不饱和基的化合物(B)包含二恶烷类不饱和化合物(B-1)及下述结构式(2)所示的异氰脲酸酯类不饱和化合物(B-2)。其具有耐高温及耐高湿性的优点。本发明还提供一种于基板上形成薄膜的方法、一种基板上的薄膜及一种装置。 |
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搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 及其 应用 | ||
【主权项】:
一种感光性树脂组合物,其包含:碱可溶性树脂(A);含乙烯性不饱和基的化合物(B);光起始剂(C);及溶剂(D);其中,该含乙烯性不饱和基的化合物(B)包含二恶烷类不饱和化合物(B‑1)及下述结构式(2)所示的异氰脲酸酯类不饱和化合物(B‑2),且该二恶烷类不饱和化合物(B‑1)与该异氰脲酸酯类不饱和化合物(B‑2)的使用量重量比(B‑1)/(B‑2)自0.05至15;其中,该二恶烷类不饱和化合物(B‑1)包含如下结构式(1‑1)所示的具1,3‑二恶烷骨架的二恶烷类不饱和化合物及/或如下结构式(1‑2)所示的具1,3‑二恶戊烷骨架的二恶烷类不饱和化合物:
其中:结构式(1‑1)中,R1至R8各自独立代表氢原子或烃基,且R1至R8中至少一个在其端部包含乙烯性不饱和基作为取代基;结构式(1‑2)中,R1至R6各自独立代表氢原子或烃基,且R1至R6中至少一个在其端部包含乙烯性不饱和基作为取代基;
其中:X1、X2及X3各自独立代表氢原子、(甲基)丙烯酰基或具有1至20个碳原子的烃基;且X1、X2及X3中至少两个为(甲基)丙烯酰基;及R9、R10及R11各自独立代表氧亚烷基。
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