[发明专利]感光性树脂组合物及其应用在审

专利信息
申请号: 201410076502.2 申请日: 2014-03-04
公开(公告)号: CN104035277A 公开(公告)日: 2014-09-10
发明(设计)人: 蔡宇杰 申请(专利权)人: 奇美实业股份有限公司
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;G03F7/027;G02F1/1333
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 韩蕾
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明是有关一种感光性树脂组合物及其应用,所述感光性树脂组合物包含:碱可溶性树脂(A);含乙烯性不饱和基的化合物(B);光起始剂(C);及溶剂(D);该含乙烯性不饱和基的化合物(B)包含二恶烷类不饱和化合物(B-1)及下述结构式(2)所示的异氰脲酸酯类不饱和化合物(B-2)。其具有耐高温及耐高湿性的优点。本发明还提供一种于基板上形成薄膜的方法、一种基板上的薄膜及一种装置。
搜索关键词: 感光性 树脂 组合 及其 应用
【主权项】:
一种感光性树脂组合物,其包含:碱可溶性树脂(A);含乙烯性不饱和基的化合物(B);光起始剂(C);及溶剂(D);其中,该含乙烯性不饱和基的化合物(B)包含二恶烷类不饱和化合物(B‑1)及下述结构式(2)所示的异氰脲酸酯类不饱和化合物(B‑2),且该二恶烷类不饱和化合物(B‑1)与该异氰脲酸酯类不饱和化合物(B‑2)的使用量重量比(B‑1)/(B‑2)自0.05至15;其中,该二恶烷类不饱和化合物(B‑1)包含如下结构式(1‑1)所示的具1,3‑二恶烷骨架的二恶烷类不饱和化合物及/或如下结构式(1‑2)所示的具1,3‑二恶戊烷骨架的二恶烷类不饱和化合物:其中:结构式(1‑1)中,R1至R8各自独立代表氢原子或烃基,且R1至R8中至少一个在其端部包含乙烯性不饱和基作为取代基;结构式(1‑2)中,R1至R6各自独立代表氢原子或烃基,且R1至R6中至少一个在其端部包含乙烯性不饱和基作为取代基;其中:X1、X2及X3各自独立代表氢原子、(甲基)丙烯酰基或具有1至20个碳原子的烃基;且X1、X2及X3中至少两个为(甲基)丙烯酰基;及R9、R10及R11各自独立代表氧亚烷基。
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