[发明专利]一种功率半导体芯片测试工装有效
| 申请号： | 201410076873.0 | 申请日： | 2014-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN103852707A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 张瑾;仇志杰;温旭辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 关玲 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种功率半导体芯片测试工装，其上盖板（04）顶部的中间位置安装有三组大电流探针（06）和六组测量探针（07）；负电极片（12）和第一垫块（08）分别穿过一组大电流探针和两组大电流探针与上盖板（04）的顶部接触。第一垫块（08）位于负电极片（12）的右侧，负电极片（12）的上方依次叠放有公共点电极片（13）和正电极片（11）；第二垫块（09）放置在公共点电极片（13）的上方，第二垫块（09）左侧的第三垫块（10）放置在负电极片（12）的上方；正电极片、公共点电极片和负电极片固定在上盖板（04）上；负电极插头（16）、公共点电极插头（15）和正电极插头（14）分别与负电极片（12）、公共点电极片（13）以及正电极片（11）相连。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 功率 半导体 芯片 测试 工装 | ||
【主权项】：
一种功率半导体芯片测试工装，其特征在于，所述的测试工装包括底托（03）、上盖板（04）、导向柱（05）、大电流探针（06）、测量探针（07）、第一垫块（08）、第二垫块（09）、第三垫块（10）、正电极片（11）、负电极片（12）、公共点电极片（13）、正电极插头（14）、公共点电极插头（15）、负电极插头（16），以及电极片固定螺栓（17）；所述的底托（03）顶部的4个顶点处安装有4只导向柱（05），上盖板（04）通过导向柱（05）覆盖在底托（03）上；上盖板（04）顶部的中间位置安装有三组共12只大电流探针（06），大电流探针（06）的左右两侧各安装有三组共12只测量探针（07）；负电极片（12）和第一垫块（08）分别穿过一组4只大电流探针和两组8只大电流探针与上盖板（04）的顶部接触；第一垫块（08）位于负电极片（12）的右侧，负电极片（12）的上方依次叠放有公共点电极片（13）和正电极片（11）；第二垫块（09）放置在公共点电极片（13）的上方；第二垫块（09）的左侧为第三垫块（10），第三垫块（10）放置在负电极片（12）的上方；负电极插头（16）、公共点电极插头（15）和正电极插头（14）分别与负电极片（12）、公共点电极片（13）及正电极片（11）相连，3只电极片固定螺栓（17）从上至下分别穿过正电极片（11）、公共点电极片（13）和负电极片（12），将正电极片（11）、公共点电极片（13）和负电极片（12）固定在上盖板（04）上。
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