[发明专利]一种面阵型红外探测器的像元等效电路及测试方法有效
| 申请号： | 201410076965.9 | 申请日： | 2014-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN104897290B | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 朱磊;陈立颖;孙东昱;薛璐 | 申请（专利权）人： | 中航（重庆）微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/02 | 分类号： | G01J5/02;G01J5/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 401331 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明提供一种面阵型红外探测器的像元等效电路及测试方法，所述像元等效电路包括：等效盲像元，用于模拟MEMS盲像元，提供等效对照信号；等效有效像元，用于模拟MEMS有效像元，提供等效探测信号；读出电路，用于对所述等效对照信号及等效探测信号进行放大及读出；所述等效盲像元包括第一MOS管及第一开关，所述等效有效像元包括第二MOS管及第二开关。本发明具有以下有益效果：1）可以显著提高面阵型红外探测器的生产效率和产品良率；2）实现了面阵型红外探测器中MEMS结构制造前的全功能测试；3）降低面阵型红外探测器产品的测试封装成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 面阵型 红外探测器 等效电路 测试 方法 | ||
【主权项】：
1.一种面阵型红外探测器的像元等效电路，其特征在于，至少包括：等效盲像元，用于模拟MEMS盲像元，提供等效对照信号；等效有效像元，用于模拟MEMS有效像元，提供等效探测信号；读出电路，用于对所述等效对照信号及等效探测信号进行放大及读出；所述等效盲像元包括第一MOS管及第一开关，其中，所述第一MOS管的栅极连接第一可调电压，第一极连接电源，所述第一开关连接于所述第一MOS管的第二极及所述读出电路之间；所述等效有效像元包括第二MOS管及第二开关，其中，所述第二MOS管的栅极连接第二可调电压，第二极接地，所述第二开关连接于所述第二MOS管的第一极及所述读出电路之间。
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