[发明专利]一种利用弹簧张紧和电机驱动的力反馈晶圆夹持装置

摘要

一种利用弹簧张紧和电机驱动的力反馈晶圆夹持装置，包括有底座和设置在底座上的用于夹持晶圆的前夹、后夹，底座上还设有控制前夹和后夹移动的驱动机构，该驱动机构由前夹连接机构、后夹连接机构和动力源组成，所述动力源包括有传动带、驱动单元和驱动单元支座，所述驱动单元通过驱动单元支座放置在底座上，所述传动带与驱动单元啮合、在驱动单元的驱动下左右交替往复运动，并且传动带的一端通过后弹簧张紧机构与前夹连接，传动带的另一端通过前弹簧张紧机构与后夹连接。本装置有效解决了真空吸附式夹持装置因为与晶圆背面接触而造成的晶圆的传输污染的难题，既保证了晶圆夹持的可靠性，又避免了晶圆之间的交叉污染。

主权项

一种利用弹簧张紧和电机驱动的力反馈晶圆夹持装置，包括有底座（10）和设置在底座（10）上的用于夹持晶圆的前夹（20）、后夹（40），其特征在于：底座（10）上还设有控制前夹（20）和后夹（40）移动的驱动机构（50），该驱动机构（50）由前夹连接机构、后夹连接机构和动力源组成；所述动力源设置在后夹（40）后方的底座（10）上，包括有传动带（506）、驱动单元（507）和驱动单元支座（508），所述驱动单元（507）通过驱动单元支座（508）放置在底座（10）上，所述传动带（506）与驱动单元（507）啮合、在驱动单元（507）的驱动下左右交替往复运动，并且传动带（506）的一端通过后弹簧张紧机构与前夹（20）连接，传动带（506）的另一端通过前弹簧张紧机构与后夹（40）连接；所述后弹簧张紧机构包括前拉杆（509）、前弹簧杆（510）、前弹簧支座（511）和前弹簧组（512），所述传动带（506）的一端通过前拉杆（509）与前弹簧杆（510）的一端连接，前弹簧杆（510）的另一端又与所述前夹（20）连接，所述前弹簧杆（510）通过前弹簧支座（511）支撑放置在底座（10）上，所述前弹簧组（512）连接在前弹簧杆（510）与前弹簧支座（511）之间；所述前弹簧张紧机构由后弹簧杆（501）、后弹簧组（502）、后弹簧支座（503）和后拉杆（504）组成，所述传动带（506）的另一端通过后拉杆（504）与后弹簧杆（501）的一端连接，后弹簧杆（501）的另一端又与所述后夹（40）连接，所述后弹簧杆（501）通过后弹簧支座（503）支撑放置在底座（10）上，所述后弹簧组（502）连接在后弹簧杆（501）与后弹簧支座（503）之间。