[发明专利]一种用于太阳能电池的多晶硅的制造方法

摘要

本发明涉及一种太阳能电池用的多晶硅真空除磷工艺，对除磷设备中的坩埚的形状进行了设计，使水冷铜坩埚的侧壁倾斜角为30-35°，并且为了电子枪均匀轰击多晶硅料，设计了将水冷铜坩埚依次分别平移到左、右电子枪正下方轰击工序。水冷铜坩埚的侧壁倾斜角为30-35°，增大了多晶硅料受轰击的面积，并且在倾倒熔化多晶硅料时，只需将水冷铜坩埚倾斜30-35°便可以将熔化多晶硅料全部倒出，减小了水冷铜坩埚的旋转的角度，节省了设备的空间，而且容易倾倒干净。由于增大了受轰击的面积，因此，轰击的束流、轰击功率和轰击时间也小(少)于现有技术，节约了设备的耗能。

主权项

一种太阳能电池用的多晶硅除磷工艺，步骤依序如下：步骤1、将多晶硅料(10)装入侧壁水平倾斜角为35度的水冷铜坩埚(3)中；步骤2、先用机械泵(5)和罗茨泵(6)将真空室(14)抽真空至气压为0.5Pa，再用扩散泵(7)抽到高真空10^‑2Pa以下；步骤3、给左电子枪(1)、右电子枪(2)高压功率预热6‑8分钟，预热高压功率为30KW，关闭高压功率；设置左电子枪(1)、右电子枪(2)束流为120mA，束流预热8分钟，关闭左、右电子枪束流；步骤4、同时打开左、右电子枪的高压和束流，稳定后用左、右电子枪轰击多晶硅料，增大左、右电子枪束流到650mA，持续轰击使多晶硅料全部熔化；步骤5、调节右电子枪(2)的束流到零，机械转轴(13)带动水冷铜坩埚(3)向左平移，使水冷铜坩埚(3)中心位于左电子枪正下方，由左电子枪轰击9分钟；步骤6、增大右电子枪(2)的束流到650mA，调整左电子枪的束流到零，机械转轴带动水冷铜坩埚向右平移，使水冷铜坩埚(3)中心位于右电子枪正下方，由右电子枪轰击9分钟；步骤7、旋转机械转轴，机械转轴带动水冷铜坩埚(3)旋转35°，将液态硅倒入水冷铜容器(4)中后，反向旋转机械转轴(13)，将水冷铜坩埚(3)归水平位；步骤8、再由进料口(9)投入多晶硅至水冷铜坩埚(3)中，连续作业，重复4‑7步骤；步骤9、关闭左、右电子枪；步骤10、依次关闭扩散泵(7)、罗茨泵(6)、机械泵(5)待温度降到250℃时，打开放气阀，打开真空装置盖(12)从水冷铜容器(4)中取出硅锭。