[发明专利]沉积装置、有机发光显示装置及其制造方法

摘要

本申请涉及一种能够实时检查形成的薄层的厚度或均匀性的沉积装置，使用该沉积装置制造有机发光显示装置的方法和使用该方法制造的有机发光显示装置。该沉积装置包括可拆卸地固定有基底的移动单元。传送单元在第一方向或者第一方向的相反方向传送移动单元。沉积单元包括至少一个用于在基底上沉积沉积材料的沉积组件。排放数据获取单元获取与从至少一个沉积组件每单位时间排放的沉积材料的量相关联的数据。发送单元发送由排放数据获取单元获取的数据。

主权项

1.一种沉积装置，包括：移动单元，基底被可拆卸地固定到所述移动单元；传送单元，包括第一传送单元和第二传送单元，所述第一传送单元和所述第二传送单元的每一个被配置为移动所述移动单元，其中所述第一传送单元被配置为在第一方向传送所述移动单元，所述第二传送单元被配置为在所述第一方向的相反方向传送所述移动单元；沉积单元，包括腔室和多个沉积组件，所述多个沉积组件以预定距离与所述基底分离，并被配置为在所述基底上沉积沉积材料；排放数据获取单元，被配置为获取与从所述多个沉积组件每单位时间排放的所述沉积材料的量相关联的排放数据；和发送单元，被配置为发送由所述排放数据获取单元获取的所述排放数据，其中所述排放数据获取单元被设置在所述移动单元的至少一个边缘上，所述排放数据获取单元包括传感器，所述传感器包括多个传感单元，所述多个传感单元的数量对应于所述多个沉积组件的数量。