[发明专利]真空泵

摘要

本发明是有关一种真空泵，防止静叶部与动叶部接触。构成静叶部(70)的分割静叶部(70A)、分割静叶部(70B)包括多个沿圆周方向排列的定子叶片(71)。定子叶片(71)形成为内周侧的叶片高度(hi)小于外周侧的叶片高度(ho)。在定子叶片(71)形成着外周缘(73a)，该外周缘(73a)是向内周侧朝向进气口(15)侧浮升的方向被弯折。

主权项

一种真空泵，其特征在于包括排气部，该排气部包含：多个动叶部，多段地配置，且分别具有多个转子叶片；及多个静叶部，配置在所述动叶部之间，静叶部的外周边缘经由间隔件受到支撑，且分别具有多个定子叶片；在所述多个静叶部的至少一个静叶部，设置在该静叶部的多个定子叶片的内周侧的叶片高度设定得小于外周侧的叶片高度；在该静叶部的内周侧未朝向进气口侧浮升时，该静叶部的内周侧的上表面与上段侧的动叶部的下表面的间隙，大于该静叶部的内周侧的下表面与下段侧的动叶部的上表面的间隙的构造下，该静叶部会在该静叶部的内周侧的上表面与上段侧的动叶部的下表面的间隙，不小于该静叶部的外周侧的上表面与上段侧的动叶部的下表面的间隙的范围内，以其内周侧朝向该进气口侧浮升的方式由所述间隔件支撑。