[发明专利]化学传感器及用于制造该化学传感器的方法无效
申请号: | 201410079450.4 | 申请日: | 2014-01-29 |
公开(公告)号: | CN103969311A | 公开(公告)日: | 2014-08-06 |
发明(设计)人: | F·迈尔;M·莱希纳;C·库尔敏;R·胡梅尔;罗伯特·苏尼尔 | 申请(专利权)人: | 盛思锐股份公司 |
主分类号: | G01N27/333 | 分类号: | G01N27/333 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 宋超 |
地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 瑞士;CH |
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摘要: | 本发明涉及化学传感器及用于制造该化学传感器的方法。化学传感器(1)包括具有前表面(2.1)和后表面(2.2)的基板层(2)和布置在所述基板层(2)的前表面(2.1)上的传感层(3),所述传感层(3)包括传感元件(4),所述基板层(2)在后表面(2.2)上具有孔(5)从而形成包含所述传感元件(4)的膜(6),其中所述基板层(2)在后表面(2.2)具有接触片(10)和从前表面(2.1)延伸到后表面(2.2)、用于将所述传感元件(4)与所述接触片(10)电连接的通孔(11),处理层(17)设置在所述传感层(3)的顶部上,所述处理层(17)包围所述传感元件(4),并且所述处理层(17)的厚度(d1)大于所述基板层(2)的厚度(d2)。 | ||
搜索关键词: | 化学 传感器 用于 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种化学传感器,包括具有前表面(2.1)和后表面(2.2)的基板层(2),和布置在所述基板层(2)的所述前表面(2.1)上的传感层(3),所述传感层(3)包括传感元件(4),并且所述基板层(2)在所述后表面(2.2)上设置有孔(5)从而形成包含所述传感元件(4)的膜(6),其特征在于:‑所述基板层(2)在所述后表面(2.2)上设置有接触片(10)并且设置有从所述前表面(2.1)延伸到所述后表面(2.2)、用于将所述传感元件(4)与所述接触片(10)进行电连接的通孔(11);‑其中处理层(17)设置在所述传感层(3)的顶部,所述处理层(17)包围所述传感元件(4);以及‑其中所述处理层(17)的厚度(d1)大于所述基板层(2)的厚度(d2)。
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