[发明专利]一种腔室有效
| 申请号： | 201410079630.2 | 申请日： | 2014-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN104889111B | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 李伟 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种腔室，所述腔室内部设置有喷淋件，所述喷淋件上设置有贯穿所述喷淋件的喷淋孔，所述喷淋件包括第一喷淋件和第二喷淋件，所述第一喷淋件上设置有多个第一通孔，所述第二喷淋件上设置有多个第二通孔，所述第一喷淋件和所述第二喷淋件上下重叠使所述第一通孔和所述第二通孔连通以形成所述喷淋孔。与现有技术相比，本发明可以较为简便地加工第一喷淋件和第二喷淋件，显著简化了加工复杂度。同时，本发明能够通过调整第一喷淋件和第二喷淋件的相对位置以调节喷淋孔的面积和孔径，能够便捷地实现更多的工艺需求。 | ||
| 搜索关键词： | 喷淋件 通孔 喷淋孔 种腔室 工艺需求 腔室内部 上下重叠 复杂度 面积和 加工 连通 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种腔室，所述腔室内部设置有喷淋件，所述喷淋件上设置有贯穿所述喷淋件的喷淋孔，其特征在于，所述喷淋件包括第一喷淋件和第二喷淋件，所述第一喷淋件上设置有多个第一通孔，所述第二喷淋件上设置有多个第二通孔，所述第一喷淋件和所述第二喷淋件上下重叠连接使所述第一通孔和所述第二通孔连通以形成所述喷淋孔，调整所述第一喷淋件和所述第二喷淋件的相对位置，能调节所述喷淋孔的面积和孔径；所述第一喷淋件和所述第二喷淋件由绝缘材料制成；喷淋孔的最大孔径y≤(L1+L2)/sinθ,其中，L1为第一通孔的宽度，L2为第二通孔的宽度，第一通孔与第二通孔之间的夹角为θ。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410079630.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：双油路液控蝶阀液压站
- 下一篇：一种便于安装的车用电磁阀
