[发明专利]电子束熔炼制备钒靶材的方法在审
| 申请号： | 201410081151.4 | 申请日： | 2014-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN104894388A | 公开（公告）日： | 2015-09-09 |
| 发明（设计）人： | 席晓丽;苏学宽;陈文娟;聂祚仁 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | C22B9/22 | 分类号： | C22B9/22;C22B34/22 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 张慧 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 电子束熔炼制备钒靶材的方法，属于靶材的制备技术领域。以棒状、条状等不规则的金属钒材边角料或含钒90%的钒铝合金为原料，在电磁聚焦电子束熔炼炉中熔炼，采用下拉制锭，炉体内的压强为1x10-1—1x10-3Pa,电子枪电压2.5-3万伏，电流3-6安培，制成产品直径为100-150mm，锭长500-1300mm，该法生产出的产品纯度可达99.95%以上，完全可以满足离子镀膜对靶材的需求。对于废弃的钒靶还可以回收重熔，具有成本低、提纯效果好、工艺简单的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 熔炼 制备 钒靶材 方法 | ||
【主权项】：
电子束熔炼制备钒靶材的方法，其特征在于，用氩弧焊连接不规则的金属钒材边角料，或者用含钒90%的钒铝合金置于电磁聚焦电子束熔炼炉的料仓作为熔料电极；通过高能电子束对熔料电极进行轰击、熔化、熔炼，并在一直抽真空的条件下经过蒸发的方式获得高纯度的钒靶材。
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