[发明专利]一种抗辐照的4T有源像素及制备方法

摘要

本发明公开了一种抗辐照的4T有源像素及制备方法，包括复位管、电荷传输管、源跟随器、行选开关、钳位光电二极管和浮空扩散节点；其中，钳位二极管的光敏区N区、电荷传输管的沟道、浮空扩散节点与有源区边缘之间设置有隔离区，隔离区相连通并注入P型杂质层。通过将钳位二极管PPD光敏区N区、电荷传输管沟道以及浮空扩散节点FD掺杂区与STI边缘隔离开一定距离，在隔离区域注入新P型杂质层，抑制了4T像素结构中总剂量辐照最敏感的两个节点的暗电流。

主权项

一种抗辐照的4T有源像素，其特征在于，包括复位管、电荷传输管、源跟随器、行选开关、钳位光电二极管和浮空扩散节点；其中，钳位二极管的光敏区N区、电荷传输管的沟道、浮空扩散节点与有源区边缘之间设置有隔离区，隔离区相连通并注入P型杂质层。