[发明专利]流道单元、液体喷射头、液体喷射装置以及流道基板的制造方法有效
| 申请号： | 201410081696.5 | 申请日： | 2014-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN104044344B | 公开（公告）日： | 2017-08-22 |
| 发明（设计）人： | 中尾元 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/01 | 分类号： | B41J2/01;B41J2/16 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司11225 | 代理人： | 黄威,苏萌萌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及流道单元、液体喷射头、液体喷射装置以及流道基板的制造方法，并提供一种能够提高流道基板和接合基板的位置对齐精度的技术。流道单元（U0）具备流道基板（U1），其为具有液体流道（F1）的透光性的基板；接合基板（U2），其与所述流道基板（U1）接合。在所述流道基板（U1）的第一基板面侧（U11）、或所述流道基板（U1）的内部（U13）处，设置有第一定位标识物（M1）。所述流道基板（U1）的与所述第一基板面侧（U11）相反的第二基板面侧（U12）设置有第二定位标识物（M2）。在所述接合基板（U2）上设置有第三定位标识物（M3）。所述第二定位标识物（M2）被设置于对所述第一定位标识物（M1）进行了投影的位置处。 | ||
| 搜索关键词： | 单元 液体 喷射 装置 以及 流道基板 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种流道单元，具备：流道基板，其为具有液体流道的透光性的基板；接合基板，其与该流道基板接合，在所述流道基板的第一基板面侧、或所述流道基板的内部设置有第一定位标识物，在所述流道基板的与所述第一基板面侧相反的第二基板面侧设置有第二定位标识物，在所述接合基板上设置有第三定位标识物，所述第二定位标识物被设置于对所述第一定位标识物进行了投影的位置处，并且，所述第二定位标识物以反映所述第一定位标识物且层压在所述第二基板面侧的方式被图案形成，利用所述第二定位标识物和所述第三定位标识物而进行所述流道基板与所述接合基板的位置对齐。
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