[发明专利]喷嘴清洗单元及喷嘴清洗方法无效
| 申请号： | 201410082149.9 | 申请日： | 2014-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN104056748A | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 大城健一;佐藤强;小林浩秋 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | B05B15/02 | 分类号： | B05B15/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 戚宏梅;杨谦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及喷嘴清洗单元及喷嘴清洗方法。一实施方式的喷嘴清洗单元具备：清洗喷嘴部，具有在供喷嘴插入的孔的内壁面开口为圆环状的第1喷射孔；气体供给部，向所述第1喷射孔供给气体；以及减压部，对供所述喷嘴插入的孔的、隔着设置有所述第1喷射孔的位置而与所述喷嘴的插入侧相反的一侧的气氛进行减压。 | ||
| 搜索关键词： | 喷嘴 清洗 单元 方法 | ||
【主权项】：
一种喷嘴清洗单元，其中，具备：清洗喷嘴部，具有在供喷嘴插入的插入部的内壁面开口为圆环状的第1喷射孔；气体供给部，向所述第1喷射孔供给气体；以及减压部，对所述插入部的、隔着设置有所述第1喷射孔的位置而与所述喷嘴的插入侧相反的一侧的气氛进行减压。
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