[发明专利]一种磁传感装置及该装置的制备方法

摘要

本发明揭示了一种磁传感装置及该装置的制备方法，所述磁传感装置包括第三方向磁传感部件，第三方向磁传感部件包括介质材料层、导磁单元、感应单元、自检测线圈；基底表面开有沟槽；导磁单元部分设置于沟槽内，并有部分露出沟槽，用以感应第三方向的磁信号，并将该磁信号输出到感应单元进行测量；感应单元靠近导磁单元露出沟槽的部分设置，用以测量第一或/和第二方向的磁场，结合导磁单元输出的磁信号，能测量被导磁单元引导到第一或/和第二方向测量的第三方向磁场；磁传感装置还包括能产生磁场的线圈，产生的磁场用于第三方向磁传感部件的自检测。本发明可利用Z轴磁传感器上方或下方的导电线圈产生磁场，用于Z轴磁传感器的自检测。

主权项

一种磁传感装置，其特征在于，所述磁传感装置包括第三方向磁传感部件，第三方向磁传感部件包括：‑介质材料层，其表面开有沟槽；‑导磁单元，其部分设置于沟槽内，并有部分露出沟槽；用以感应第三方向的磁信号，并将该磁信号输出到感应单元进行测量；‑感应单元，靠近导磁单元露出沟槽的部分设置，用以测量第一方向或/和第二方向的磁场，结合导磁单元输出的磁信号，能测量被导磁单元引导到第一方向或/和第二方向测量的第三方向磁场；第一方向、第二方向、第三方向两两相互垂直；所述磁传感装置还包括能产生磁场的导电线圈，产生的磁场用于所述第三方向磁传感部件的自检测。