[发明专利]以双转子压缩机为核心的氦气压缩净化机组

摘要

本发明公开了一种以双转子压缩机为核心的氦气压缩净化机组，低压平衡器通过第一管道与双转子压缩机进气端连通；双转子压缩机通过第二管道与油气冷却器进气端连通；油气冷却器出气端通过第三管道与油气分离器进气端连接；油气分离器出气端通过第四管道与吸附器连接；油气分离器出油端通过第五管道与第一管道连通；双转子压缩机出油端通过第六管道与油气冷却器进油端连通；油气冷却器出油端通过第七管道与第一管道连通；第四管道通过第八管道与第一管道连通；第八管道上设置有溢流阀；氦气经过双转子压缩机和油气冷却器两次冷却，保证了机组净化的高效率；氦气经过双转子压缩机、油气分离器与吸附器三次过滤，保证了机组过滤的氦气的纯净度。

主权项

一种以双转子压缩机为核心的氦气压缩净化机组，包括低压平衡器、双转子压缩机、油气冷却器、油气分离器与吸附器；其特征在于：所述的低压平衡器通过第一管道与所述双转子压缩机进气端连通；所述双转子压缩机通过第二管道与油气冷却器进气端连通；所述油气冷却器出气端通过第三管道与所述油气分离器进气端连接；所述油气分离器出气端通过第四管道与所述吸附器连接；所述油气分离器出油端通过第五管道与所述第一管道连通；所述双转子压缩机出油端通过第六管道与所述油气冷却器进油端连通；所述油气冷却器出油端通过第七管道与所述第一管道连通；所述第四管道通过第八管道与所述第一管道连通；所述第八管道上设置有溢流阀。