[发明专利]测试仪器安装支架有效
| 申请号： | 201410085894.9 | 申请日： | 2014-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN103837185A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 马力鹏;程蒙 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01D11/30 | 分类号： | G01D11/30;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高静;骆苏华 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种测试仪器安装支架。所述测试仪器安装支架用于放置于洁净腔内，所述洁净腔的底部设置有晶圆支撑装置，所述测试仪器安装支架包括仪器安装部件，以及支撑部件；所述支撑部件，用于容纳所述晶圆支撑装置，所述仪器安装部件，位于所述支撑部件上方，用于固定测试仪器。使用时，所述仪器安装部件用于安装测试仪器，所述测试仪器安装支架的支撑部件放置在净腔底部，洁净腔内的晶圆支撑装置位于所述支撑部件内。从而在无需移动所述晶圆支撑装置的条件下，将所述测试仪稳定地放置在洁净腔内，进行洁净腔内的工艺参数测试，有效避免安装测试仪器安装支架时，对于晶圆支撑装置的反复移动和安装，并由此造成的对于洁净腔内的部件的损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 仪器 安装 支架 | ||
【主权项】：
一种测试仪器安装支架，其特征在于，测试仪器安装支架用于放置于洁净腔内对测试仪器进行固定支撑，所述洁净腔的底部设置有晶圆支撑装置；所述测试仪器安装支架包括：支撑部件，用于容纳所述晶圆支撑装置；仪器安装部件，位于所述支撑部件上方，用于固定测试仪器。
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