[发明专利]蚀刻液浓度测量装置及方法有效
| 申请号： | 201410091097.1 | 申请日： | 2014-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN103868866A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 徐蕊;张维维 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/31 | 分类号： | G01N21/31 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人： | 蔡晓红 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种蚀刻液浓度测量装置及方法，其中所述测量装置包括浓度测量机构及与所述浓度测量机构相连的酸雾消除机构，所述酸雾消除机构用于消除所述浓度测量机构内部的酸雾，所述浓度测量机构用于实时接收蚀刻液并在无酸雾环境下测量所述蚀刻液混酸中各酸的吸光度，并根据所述吸光度计算所述蚀刻液混酸中各酸的浓度。本发明的浓度测量装置克服了酸雾对蚀刻液混酸中酸浓度的测量干扰，达到快速、准确地在线测定蚀刻液混酸中各种酸的浓度，并实现干燥气体的循环使用，达到了节约资源的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 浓度 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种蚀刻液浓度测量装置，其特征在于，包括浓度测量机构（2）及与所述浓度测量机构（2）相连的酸雾消除机构（1），所述酸雾消除机构（1）用于消除所述浓度测量机构（2）内部的酸雾，所述浓度测量机构（2）用于实时接收蚀刻液并在无酸雾环境下测量所述蚀刻液混酸中各酸的吸光度，并根据所述吸光度计算所述蚀刻液混酸中各酸的浓度。
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