[发明专利]射频微机电器件板级互连封装结构及其封装方法有效
申请号: | 201410091878.0 | 申请日: | 2014-03-13 |
公开(公告)号: | CN103824818A | 公开(公告)日: | 2014-05-28 |
发明(设计)人: | 赵成;陈磊;宋竟;胡经国 | 申请(专利权)人: | 扬州大学 |
主分类号: | H01L23/28 | 分类号: | H01L23/28;H01L21/56 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 董旭东 |
地址: | 225009 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了电子元器件技术领域内的一种射频微机电器件的板级互连封装结构及其封装方法,包括射频微机电器件芯片、凸点桥、封装基板和密封材料,射频微机电器件芯片底部粘接在封装基板上,射频微机电器件芯片上侧设有芯片电极,封装基板上设有基板电极,所述凸点桥包括凸点桥高频基板,凸点桥高频基板上制作有若干射频传输线电极,各射频传输线电极两端分别设有金属凸点球,凸点桥倒置并跨接在芯片电极与基板电极之间,使金属凸点球与对应的基板电极、芯片电极相连;所述密封材料填充在凸点桥高频基板和封装基板的边缘间隙内。本发明可实现互连与封装一体化,其射频损耗小,结构简单,易于实现。 | ||
搜索关键词: | 射频 微机 器件 互连 封装 结构 及其 方法 | ||
【主权项】:
一种射频微机电器件板级互连封装结构,其特征在于:包括射频微机电器件芯片、凸点桥、封装基板和密封材料,射频微机电器件芯片底部粘接在封装基板上,射频微机电器件芯片上侧设有芯片电极,封装基板上设有基板电极,所述凸点桥包括凸点桥高频基板,凸点桥高频基板上制作有若干射频传输线电极,各射频传输线电极两端分别设有金属凸点球,凸点桥倒置并跨接在芯片电极与基板电极之间,使金属凸点球与对应的基板电极、芯片电极相连;所述密封材料填充在凸点桥高频基板和封装基板的边缘间隙内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于扬州大学,未经扬州大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201410091878.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。