[发明专利]处理器以及检查装置有效
申请号: | 201410092900.3 | 申请日: | 2014-03-13 |
公开(公告)号: | CN104122462B | 公开(公告)日: | 2019-03-12 |
发明(设计)人: | 今井贵之;宫本治彦;高田冬生;下岛聪兴 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00;F24H3/04 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 舒艳君;李洋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种能够迅速并均匀地加热对象物的处理器以及检查装置。处理器具备:能够得到对保持IC元件(100)的保持单元(20)进行安装的安装状态的保持单元安装部亦即旋转部(97);和对保持于保持单元(20)的IC元件(100)进行搬运的搬运机构(9)。旋转部(97)具有产生热的发热部(973)、和供被发热部(973)加热而用于加热IC元件(100)的流体Q通过的加热用流路(972)。 | ||
搜索关键词: | 处理器 以及 检查 装置 | ||
【主权项】:
1.一种处理器,其特征在于,具有:保持单元安装部,其能够得到保持搬运对象物的保持单元被安装的安装状态;以及搬运机构,其对保持于上述保持单元的上述搬运对象物进行搬运,上述保持单元安装部具有产生热的发热部、以及供被上述发热部加热并用于加热上述搬运对象物的流体通过的流路,上述流路配置于上述发热部与上述保持单元之间,上述发热部沿水平方向配置,并在俯视情况下在多个位置与上述流路交叉。
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