[发明专利]机械手、机械手控制装置以及机械手系统

摘要

一种机械手，该机械手（1）具备基台（11）；第一臂（12），其以能够以第一转动轴为转动中心转动的方式与基台（11）连结；第二臂（13），其以能够以第二转动轴为转动中心转动的方式与第一臂（12）连结，所述第二转动轴是与第一转动轴正交的轴或者与正交于第一转动轴的轴平行的轴；第三臂（14），其以能够以第三转动轴为转动中心转动的方式与第二臂（13）连结，所述第三转动轴是与第二转动轴平行的轴；第一角速度传感器，其设置于第一臂（12），并且其角速度的检测轴与所述第一转动轴平行；以及第二角速度传感器，其设置于第二臂（13），并且其角速度的检测轴与所述第三转动轴平行。

主权项

一种机械手，其特征在于，具备：基台；第一臂，其以能够以第一转动轴为转动中心转动的方式与所述基台连结；第二臂，其以能够以第二转动轴为转动中心转动的方式与所述第一臂连结，所述第二转动轴是与所述第一转动轴正交的轴或者与正交于所述第一转动轴的轴平行的轴；第三臂，其以能够以第三转动轴为转动中心转动的方式与所述第二臂连结，所述第三转动轴是与所述第二转动轴平行的轴；第一角速度传感器，其设置于所述第一臂，并且角速度的检测轴与所述第一转动轴平行；第二角速度传感器，其设置于所述第二臂，并且角速度的检测轴与所述第三转动轴平行；第一角速度传感器单元，其具有：第一壳体、设置于所述第一壳体内的所述第一角速度传感器、以及设置于所述第一壳体内的对从所述第一角速度传感器输出的信号进行AD转换并发送的电路部；以及第二角速度传感器单元，其具有：第二壳体、设置于所述第二壳体内的所述第二角速度传感器、以及设置于所述第二壳体内的对从所述第二角速度传感器输出的信号进行AD转换并发送的电路部，所述第三转动轴与所述第二角速度传感器单元的间隔距离比所述第二转动轴与所述第二角速度传感器单元的间隔距离短，所述第一角速度传感器单元设置于所述第一臂，所述第二角速度传感器单元设置于所述第二臂，所述第一角速度传感器以及所述第二角速度传感器分别具有陀螺仪元件，在将相互正交的两轴设定为第一轴以及第二轴时，所述陀螺仪元件具有：基部；一对检测用振动臂，从所述基部向与所述第一轴平行并且相互相反的方向延伸突出；一对连结臂，从所述基部向与所述第二轴平行并且相互相反的方向延伸突出；以及各一对驱动用振动臂，从各所述连结臂的前端部或者中途向与所述第一轴平行并且相互相反的方向延伸突出。