[发明专利]干涉滤波器及其制造方法、光学模块、及接合基板有效
申请号: | 201410093990.8 | 申请日: | 2014-03-13 |
公开(公告)号: | CN104049358B | 公开(公告)日: | 2017-12-01 |
发明(设计)人: | 荒川克治 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G02B26/00 | 分类号: | G02B26/00;G02B5/28;G01J3/28;G01N21/25 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人: | 余刚,吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及干涉滤波器及其制造方法、光学模块、及接合基板。其中,波长可变干涉滤波器(5)具备固定基板(51);可动基板(52);固定反射膜(54),设置于固定基板(51);可动反射膜(55),设置于可动基板(52),与固定反射膜(54)相对;以及第一接合部(57),接合固定基板(51)和可动基板(52),第一接合部(57)具有树脂层(571A),设置于固定基板(51);金属层(571B),在固定基板(51)上覆盖树脂层(571A)而设置,塑性比树脂层(571A)小;以及金属层572B,设置于可动基板(52),接合于金属层(571B)。 | ||
搜索关键词: | 干涉 滤波器 及其 制造 方法 光学 模块 接合 | ||
【主权项】:
一种干涉滤波器,其特征在于,具备:第一基板;第二基板,与所述第一基板相对配置;第一反射膜,设置于所述第一基板的与所述第二基板相对的面;第二反射膜,与所述第一反射膜隔开间隙而相对;以及第一接合部,接合所述第一基板和所述第二基板,密封形成于所述第一基板和所述第二基板之间的第一内部空间,所述第一接合部具有:第一基底层,设置于所述第一基板及所述第二基板中的任意一方;第一金属层,在设置有所述第一基底层的基板上覆盖所述第一基底层而设置,塑性比所述第一基底层小;以及第二金属层,设置于所述第一基板及所述第二基板中的另一方,接合于所述第一金属层,其中,所述第二基板具备:接合面,与所述第一基板相对;以及第一面,所述第一面至所述第一基板的距离比所述接合面至所述第一基板的距离长,并且其中,所述第一基底层从所述接合面连续设置到所述第一面,或者从所述第一基板的与所述接合面相对的部分连续设置到所述第一基板的与所述第一面相对的部分。
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